2023 SEMICON

2월 2일 목요일, 3일 금요일 코엑스에서 하는 세미콘에 갔다왔습니다.

아쉬웠던건 램리서치와 어플라이드 머티리얼즈 부스가 없던 거 같더라고요.  
 
세미콘 방문부스 : 
 
Igus, TEL, 동진세미켐, Besi, 코리아테크노, 올림푸스, 알박, New power plasma, 
Q-Lok, Entegris, Servomex, MELCON, Gigalane
 
 
Igus
Cableveyor 전문회사로 케이블 정리에 필요한 제품을 만드는 회사입니다 
 
TEL
반도체와 평판디스플레이(FPD) 제조 장치를 제조 및 판매하는 회사입니다 
 
대표 장비로는 Plasma Etch system : Tactras 
Coater/Developer : Clean track Lithius Pro Z
 
소자 분리 형성, 게이트 형성 : 
1) 산화막 형성, 질화막 형성 : Thermal processing system TELINDY PLUS, Single wafer deposition system Triase, Atomic layer deposition system NT333 
2) 포토레지스트 도포 & 현상 : Coater / Developer CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z 
3) Ethching : Plasma Etch system Tactras, Plasma etch system Episode UL
배선형성 (Contact 형성, 다층배선형성) : Single wafer deposition system Triase, Plasma etch system Tactras, Plasma etch system Episode UL 
 
그 외 ( 웨이퍼 검사, 웨어피 본딩/디본딩 ) : 
 
동진세미켐
사업영역은 1)발포제 2) 반도체 소재 3) 디스플레이 소재 4) 연료전지 및 이차전지 소재 입니다 
 
반도체 소재로는 포토레지스트, Thinner, CMP 슬러리, 반사방지막, 하드마스크, 프리커서, 황산 
*Thinner는 포토레지스트 도포 및 스핀코팅 이후 발생하는 웨이퍼 가장자리의 불필요한 포토레지스트를 제거하는 공정에 사용되는 재료 입니다 
*프리커서는 박막 증착용 공정인 CVD/ALD의 원료가 되는 물질 ( 금속박막, 산화막, 질화막 등을 높은 Step Coverage로 증착 가능한 물질 ) 
*하드마스크는 포토레지스트 막의 두께가 얇아짐에 따라 Etch masking 재료로써 도입된 물질 
*황산은 Wet cleaning 공정에 사용되며 포토레지스트 잔유물과 같은 유기물 및 오염물을 제거하는 역할을 합니다
 
알박
사업영역은 1) 반도체 생산 장비 2) 산업용 진공 장비 3) 전자장비 4) 디스플레이 FPD 생산 장비 5) 진공 파츠
 
1) 반도체 생산 장비로 스퍼터링 장비가 있습니다 
 
5) 진공 파츠로 다양한 진공펌프 제품이 있습니다 
 
올림푸스
사업영역은 반도체 / FPS / 산업용 검사 현미경 입니다 
 
MX63 / MX63L 이 올림푸스의 제품입니다 
 
코리아테크노 
사업영역은 Laser marking & sorter 장비, Wafer sorter 장비, Laser marking & Wafer / ring sorter 장비, Wafer DUMP System, EFEM System, FOUP opener 등 주로 FOUP과 wafer 정리 및 이송 장비입니다 
 
New power plasma 
사업영역은 반도체 및 디스플레이 업계에서의 플라즈마 제너레이터 ( Reactor 및 RF 제너레이터) 입니다

RF 제너레이터와 매처는 Etch 장비 (디스플레이, 반도체)에서 플라즈마를 생성을 위한 핵심부품입니다
선두 기업으로는 미국의 mks가 있습니다
 
Q-Lok 
유씨티코리아 그룹의 자회사로 반도체 / LCD 제조 가스 공급 장치 전문 기업입니다 
밸브 및 피팅 전문기업입니다 
튜브 피팅, 파이프 피팅, 밸브 ( 볼밸브, 체크밸브, Needle & Metering 밸브, 매니폴드 밸브 ) 의 제품군이 있습니다 
 
Entegris 
소재 기업으로 다양한 영역에 걸쳐 사업영역이 있는 외국계 회사입니다 
Foup, Fosb
펌프, 필터, 밸브, 튜빙, 드럼, 피팅 
AMC 필터
gas pruifiers, gas filters, Liquid filters, Specialty coatings 
Liquid pacakaging, 밸브, 튜빙, 피팅, 센서, Liquid filters 등 다양한 제품군이 있습니다 
 
MELCON
사업영역으로는 온도 및 습도 컨트롤러 (포토 리소그래피 공정), clean 장비, Chemical air 필터 제품군이 있습니다  
 
Besi 
사업영역으로 모바일, 메모리, 자동차 반도체, LED, 의료, 광학 등 다양한 사업군에 사용되는 장비를 제품군이 있습니다 
 
Gigalane 
사업영역으로 12inch etcher 및 12inch nano imprinter 제품군이 있습니다 
 
 
 
*참고 
-> 반도체 종류 
1) CMOS image sensor 
2) DRAM
3) Logic (데이터 처리, 어플리케이션 실행)
4) 3D NAND ( 저장공간)